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AR+AF磁控溅射镀膜机
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技术参数
产品优势
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计算参数
DL-2000H
备注
真空室规格 mm
Ø2000*1400
直径高度
真空室形式
vertical type
门数量
Inspection window
单或双开门
极限真空
7.8×10
-4
空载
真空系统 Pa
分子泵+罗茨泵机组+维持泵
工作真空 Pa
7.0×10
-3
≤10min
空载≤min 满载≤11min
产品优势
显示屏类、手机类、车载类产品制造生产的专用、关键设备。该设备配置磁控溅射靶、离子源及专用蒸发电源;装卸产品的快速、方便,是目前通用的方式。
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