0536-2137951
| 类别 | 项目 | 参数详情 |
|---|---|---|
| 规格 | 转鼓交换室 | SUS304，（长）3200 mm×（宽）2620 mm×（高）2160 mm |
| 镀膜工艺室 | SUS304，（长）2610 mm×（宽）2090 mm×（高）2160 mm | |
| 性能 | 转鼓转速 | 10~120rpm（可变） |
| 进出料室抽速 | ≤15min（大气压～2.0×10⁻¹Pa） | |
| 工艺室抽速 | ≤15min（大气压～2.0×10⁻¹Pa） | |
| 极限真空度 | ≤6.0×10⁻³Pa | |
| 溅射靶材 | Nb, Si, Cr, Al, Ti, ITO ... | |
| 配置 | 夹具系统 | Φ2000mm，转鼓型，10 转 / 分 - 120 转 / 分（可变） |
| 挂板 | 13-36 个 | |
| 溅射源 | 双旋转阴极磁控靶 (可选平面阴极磁控靶) | |
| 排气系统 | 机械泵，罗茨泵，分子泵；深冷捕集泵 | |
| 真空控制系统 | 真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计 | |
| 反应离子源 | RF-ICP 电感耦合射频离子源 | |
| AF 膜系统 | 电阻蒸发源 + 自动硅烷供应系统 | |
| 充气系统 | 气体流量计 | |
| 控制系统 | PC+PLC | |
| 电源系统 | 三相，380V±10%，总容量 1000kVA，50/60Hz | |
| 工作条件 | 冷却水 | 流量 15T/h；温度 20-25℃ |
| 压缩空气 | 0.5 MPa - 0.7 MPa | |
| 外形尺寸 | 12000mm（宽）×14000mm（深）×3640mm（高） | |
| 重量 | 约 70T |
