0536-2137951
| 主要技术参数 | DH-1300 | DH-1400 | DH-1680 |
|---|---|---|---|
| 设备型号 | DH-1300 | DH-1400 | DH-1680 |
| 真空室 | Φ1300×H1200mm | Φ1400×H1200mm | Φ1500×H1200mm |
| 工件架 | 6 杆 - 18 杆 可定制 | ||
| 工件转速 | 公转 0~10rpm | ||
| 抽气系统 | 机械泵 + 罗茨泵 + 维持泵 + 分子泵（扩散泵） | ||
| 烘烤 | 管状加热器 300℃(最高温度 300℃) | ||
| 极限真空 | 6.0×10⁻⁴Pa (空载) | ||
| 抽气时间 | 大气～3.0×10⁻³Pa ≤15min (空载) | ||
| 偏压电源 | 单极脉冲偏压电源或双极脉冲偏压电源 | ||
| 溅射阴极 | 多弧靶 | ||
| 设备尺寸 | 约 4200mm (长)×3500mm (宽)×2500mm (高) | 约 4200mm (长)×3500mm (宽)×2800mm (高) | |
| 操作控制 | 触摸屏一体机 / 工控机系统 | ||
| 电力 | 三相五线制：380V/50HZ 功率：45KW~60KW | ||
| 冷却水 (压强 / 温度) | 0.2~0.3Mpa/20℃~25℃(工业软水、去离子水) | ||
| 空气压力 | 0.5-0.8Mpa (干燥) | ||
