0536-2137951
| 主要技术参数 | JSDH-1300 | JSDH-1400 | JSDH-1500 | JSDH-1600 | JSDH-1680 |
|---|---|---|---|---|---|
| 设备型号 | JSDH-1300 | JSDH-1400 | JSDH-1500 | JSDH-1600 | JSDH-1680 |
| 真空室 | Φ1300×H1200mm | Φ1400×H1200mm | Φ1500×H1200mm | Φ1600×H1200mm | Φ1680×H1200mm |
| 工件架 | 6 杆 - 18 杆 或定制 | 6 杆 - 24 杆 或定制 | |||
| 工件转速 | 公转 0~10rpm | ||||
| 抽气系统 | 机械泵 + 罗茨泵 + 维持泵 + 分子泵（扩散泵） | ||||
| 加热器 | 管状加热器 300℃(zui高温度 300℃) | ||||
| 极限真空 | 6.0×10⁻⁴Pa (空载) | ||||
| 抽气时间 | 大气～6.0×10⁻³Pa ≤15min (空载) | ||||
| 偏压电源 | 单极脉冲偏压电源或双极脉冲偏压电源 | ||||
| 磁控阴极 | 圆柱靶，中频电源或直流电源 | ||||
| 溅射阴极 | 多弧靶 | ||||
| 充气系统 | 多路充气系统 | ||||
| 操作控制 | 触控屏一体机 | ||||
| 设备尺寸 | 约 4200mm (长)×3500mm (宽)×2500mm (高) | 约 4200mm (长)×3500mm (宽)×2800mm (高) | 约 4500mm (长)×4000mm (宽)×2800mm (高) | 约 4500mm (长)×4500mm (宽)×2800mm (高) | |
| 电力 | 三相五线制：380V/50HZ 功率：50KW~80KW | ||||
| 冷却水 (压强 / 温度) | 0.2~0.3Mpa/20℃~25℃(工业软水、去离子水) | ||||
| 空气压力 | 0.5-0.8Mpa (干燥) | ||||
